ISO-14644-1 空气洁净度分级标准
洁净级别 FS209E的名称和数量已经发生了变化（详见表A）。除了空气体积计量单位明显改为公制外，ISO 14644-1标准还新增了三个等级：两个等级的洁净度优于10级，一个等级的洁净度低于100,000级。
空气中的颗粒物洁净度等级
空气中的颗粒物洁净度等级
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**类别；等级**
|
每立方米内按微米大小分类的颗粒数量
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|||||
|
0.1 微米
|
0.2 微米
|
0.3 微米
|
0.5微米
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1 微米（micrometer）
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5微米
|
|
|
ISO 1
|
10
|
2
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
ISO 2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
-
|
-
|
|
ISO 3
|
1,000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
-
|
|
ISO 4
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
352
|
83
|
-
|
|
ISO 5
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
832
|
29
|
|
ISO 6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320
|
293
|
|
ISO 7
|
NA
|
NA
|
NA
|
352,000
|
83,200
|
2,930
|
|
ISO 8
|
NA
|
NA
|
NA
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
|
|
ISO 9
|
NA
|
NA
|
NA
|
35,200,000
|
8,320,000
|
293,000
|
表B
空气中的颗粒物洁净度等级对比
|
ISO 14644-1
|
FED STD 209E
|
|
|
1
|
NA
|
NA
|
|
2
|
NA
|
NA
|
|
3
|
1
|
M1.5
|
|
4
|
10
|
M2.5
|
|
5
|
100
|
M3.5
|
|
6
|
1,000
|
M4.5
|
|
7
|
10,000
|
M5.5
|
|
8
|
100,000
|
M6.5
|
|
9
|
NA
|
NA
|
ISO 14644-2 规定了为符合该标准所需进行的测试类型和频率。表 C 列出了强制性测试项目，而表 E 列出了可选测试项目。
表C
**战略测试（必选）**
表1 用于证明持续合规性的检测计划
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测试参数
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等级；类别；阶级
|
最长时间间隔
|
测试程序
|
|
颗粒计数测试
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<= ISO
5
|
六个月
|
ISO 14644-1 附录 A
|
|
回收；恢复；复苏；挽回
|
> ISO 5
|
12个月
|
ISO 14644-1 附录 A
|
|
空气压力差
|
所有类别
|
12个月
|
ISO 14644-1 Annex B5
|
|
气流；通风系统
|
所有类别
|
12个月
|
ISO 14644-1 Annex B4
|
表D
**战略测试（必选）**
**战略测试（必选）**
表2 额外可选测试的安排
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测试参数
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等级；类别；阶级
|
最长时间间隔
|
测试程序
|
|
安装好的过滤器泄漏
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所有类别
|
24个月
|
ISO 14644-3 Annex B6
|
|
容器泄漏
|
所有类别
|
24个月
|
ISO 14644-3 Annex B4
|
|
回收；恢复；复苏；挽回
|
所有类别
|
24个月
|
ISO 14644-3 Annex B13
|
|
气流可视化
|
所有类别
|
24个月
|
ISO 14644-3 Annex B7
|