气锁是具有两扇或更多门的封闭房间,这些门连接着两个不同的区域。 **受控区域** 这些区域根据清洁度要求被划分为B级和C级、C级和D级。这些气锁在物料或人员进入时,可以防止这些区域之间的直接空气流通。当气锁用于人员通行时,称为“人员气锁(PAL)”;当用于物料转移时,则称为“物料气锁(MAL)”。
A. 级联气锁
B. 气泡式气锁
C. 沉降气锁
A. 级联气锁:这类气锁非常常见,其一侧的压力较高,另一侧的压力较低。这种设计可以防止外部灰尘和污染物进入气锁,同时也能防止气锁内的物质被释放到外部环境中。
B. 气泡式气闸室:这种类型的气闸室内部压力较高,而外部两侧的压力较低。这种设计可以防止空气通过气闸室在两个区域之间流动,从而形成一道压力屏障。
C. 沉降式气锁:这种气锁内部的压力较低,而两侧的压力较高。它通过从相邻区域抽取空气来形成一个低压屏障。
气锁的门应向压力较高的那一侧打开,这样有助于门的关闭。应配备联锁系统,以防止两扇门同时被打开。还应设置警报装置,以提示其中一扇门已被打开。

