ISO 14644(ISO清洁度等级)概述Summary of ISO 14644 (ISO Cleanliness Classes)
**ISO-14644-1 空气洁净度分类** 洁净度等级的名称和数值已从 FS209E 更改为新的标准(见表 A)。除了将空气体积的计量单位改为公制外,ISO 14644-1 还新增了三个等级:两个等级的洁净度高于 10 级,一个等级的洁净度低于 100,000 级。 **表 A:空气中的颗粒物洁净度等级** | 等级 | 颗粒物数量(每立方米空气中的颗粒数) | 备注 | | ---- | ---------------------- | -------- | | 10 | ≤ 10^9 | 最高洁净度等级 | | 10,000 | ≤ 10^6 | 比 10 级更洁净 | | 100,000 | ≤ 10^4 | 比 10,000 级更洁净 | | ... | ... | 更低等级的洁净度等级 |